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答:(1)扫描电镜是利用电子束轰击样品表面,引起二次电子和背散射电子等信号的发射,经检测装置接收后成像的。
(2)SEM像衬度包括a.形貌衬度,利用二次电子成像,其产率与样品上某点的电子入射角(即样品表面形貌)有关,可用于显示样品表面形貌。利用背散射电子像也可描述样品形貌。b.原子序衬度,利用背散射电子成像,其产率与入射束能量无关,而是随散射角,即随样品原子序数增加而变大。主要用于标明样品中组成元素。
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