答：a．表面组分鉴定，依据是除H或He以外的每个元素都有自己的XPS、UPS和AES特征峰，可作为识别元素的标记。且每种元素的原子各个能级对应一个特征峰；每种元素的原子都有1、2个代表自己的最强特征峰，其为该元素的主峰；且各种元素的最强特征峰很少重叠。
b. 表面价态分析，依据是元素原子内层光电子峰的化学位移和峰形变化。因为原子化学环境变化（如价态变化、结合其他原子等）→ 外层价电子密度变化 → 内层电子结合能位移；一般外层价电子密度减少，使其对内层电子的屏蔽作用减弱，会导致内层电子的结合能增加，即向高能端位移。
c. 表面元素半定量分析，依据是两种元素i,j原子比为ni/nj=Ii/Ij·Sj/Si，其中 Ii、Ij为元素相应特征峰的峰面积；Sj和Si为元素i,j相应特征峰的灵敏度因子比，其与基体无关。
